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피에스텍, 신규 정전척 전원장치 출시

주요 특징

  • Arc Detecting 기능
  • 디처킹 기능
  • 정전척 정전 용량 측정 기능
  • 누설 전류 측정 기능
  • 아날로그 출력 기능
  • DC BIAS 전압 모니터링 기능
  • RO Min Fault 기능

 

피에스텍의 야심 찬 신제품, 정전척 전원장치 신형을 소개합니다.
정전척 전원장치는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 기판을 정전척에 고정하기 위한 목적으로 정전력을 발생시키기 위한 전원을 공급하는 장치입니다. 피에스텍이 이번에 새롭게 출시한 정전척 전원장치는 제조 공정에 필요한 모든 기능을 담은 전원장치로, 현존하는 최고의 정전척 전원장치라고 할 수 있습니다.
신규 정전척 전원장치는 새로운 디자인을 적용하여 사용자가 직관적으로 간편하게 조작할 수 있도록 하였습니다.
전원장치를 사용할 때 종종 아크가 발생합니다. 피에스텍 제품은 아크 발생 후 약 4마이크로초 이내에 아크를 차단하여 부하 손상을 최소화 할 수 있습니다. 아크 차단 후 재기동까지 휴지 시간 설정 또한 가능합니다.
그뿐만 아니라 디처킹 강화 기능도 추가하였습니다. 전원 차단 상태일 때 부하를 방전시키기 위해서 출력 토글을 동작시킬 수 있고, 오토 토글의 파형 또한 변경할 수 있습니다.
이외에도 국내외 타 정전척 전원장치 제조사는 제공하지 않는 다양한 기능을 추가하여 편의성을 더욱 높였습니다. 정전척 정전 용량 및 누선 전류를 측정할 수 있고, 출력 전류를 5V로 변환하여 출력을 아날로그 신호로 모니터링할 수도 있습니다. 그뿐만 아니라 1250V 이하 BIAS 전압 모니터링이 가능하고, RO Min Fault 기능 또한 갖췄습니다.
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