산업용 전원장치
2020년 4월 20일
피에스텍 SEMICON JAPAN 2019 참가
기간: 2019.12.11(수) ~ 13(금)
장소: 도쿄 빅 사이트(Tokyo Big Sight)
부스 위치: (4층 WEST HALL 4 6068)
피에스텍이 세미콘 재팬 2019에 참가합니다!
이번 전시회에서는 세밀한 제어와 콤팩트한 사이즈로 공간 효율성을 높인 RF 플라즈마 전원장치와 새롭게 개발된 정전척 전원장치를 전시할 예정입니다.
새로 개발된 반도체 공정용 정전척 전원장치는 품질이 가장 중요한 반도체 공정에의 적용을 위해 전압 변동 범위를 0.5% 이내로 줄이고 RF 필터를 내장하여 고주파 장비 침입을 차단한 것이 특징입니다. 또한 내부 Ground를 통한 부하 방전기능으로 효과적인 Dechucking을 실현하여 공정 생산성을 향상시킬 수 있습니다.
많은 관심과 방문 부탁드리겠습니다!
* 부스 위치 링크:
문의 사항이나 미팅 요청은 아래 전시회 담당 인원에게 연락주시길 바랍니다.
성민화 주임
031)451-5106(215)
mhsung@pstek.co.kr
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