정전척 전원장치

 내부 Ground를 통한 부하 방전기능으로 효과적인 Dechucking을 실현하여 공정 생산성을 향상시켰습니다. 

효과적인 Dechucking을 실현하여 공정 생산성을 향상시킨 제품 입니다. 또한 RF 필터 내장 등과 같은 다양한 보호기능으로 장비와 웨이퍼를 효과적으로 보호할 뿐만 아니라 불량률을 최소화 할 수 있습니다.

내부 Ground를 통한 부하 방전기능으로 효과적인 Dechucking을 실현하여 공정 생산성을 향상시켰습니다. 또한 국내 대기업과 장기간 필드 테스트를 통해 안정성과 생산성을 검증 받았습니다.

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