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정전척 전원장치

 정전용량 모니터링 및 Auto Toggle 등의 특수 기능을 통해 공정 생산성 향상에 도움을 드릴 수 있습니다

정전용량 모니터링 기능 및 Auto Toggle 등의 특수 기능을 이용하여 공정 관리에 다양한 편의를 제공해 드립니다.  또한 RF 필터 내장 등과 같은 다양한 보호기능으로 장비와 웨이퍼를 효과적으로 보호할 뿐만 아니라 불량률을 최소화 할 수 있습니다.

대면적 Glass에 적합한 정전용량 모니터링 기능과 특수 기능으로 공정상의 문제점을 사전에 파악하는데 도움을 드립니다.  또한 국내 대기업과 장기간 필드 테스트를 통해 안정성과 생산성을 검증 받았습니다.

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