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디스플레이 공정용

피에스텍의 디스플레이 공정용 정전척 전원장치는 내부 Ground를 통한 부하 방전기능으로 효과적인 Dechucking을 실현하여 공정 생산성을 향상시켰습니다. 또한 국내 대기업과 장기간 필드 테스트를 통해 안정성과 생산성을 검증 받은 제품입니다.

특징 및 장점

  • 입증된 안정성
  • 대기업과 장기간 필드 테스트를 통해 제품 안정성 검증
  • 디지털 아크 제어를 통한 기판 보호
  • 아크 발생 후 약 4us 이내에 아크를 차단
  • 전원 차단 후 재기동까지 휴지 시간 설정이 가능
  • 출력 전류가 5mA 이상일 경우 OCP 작동
  • 생산성 향상
  • 출력 상승 속도(Ramp up time) 0.3s로 공정시간 최소화
  • 부하 방전기능으로 효과적인 Dechucking 가능
  • 사용성 향상
  • 전원장치에서 부하(정전척)의 정전용량을 Display하여 공정상태 확인 가능
  • 사용자 편의성을 고려해 원격 제어가 가능한 PC프로그램을 자체 개발
  • PLC 연동도 가능
  • 경제적인 가격
  • 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능

사양

항목 PSES-15250PB PSES-10500PB
출력
전압
+2500 ~ -2500V (2ch)
+5000 ~ -5000V (2ch)
최대 전류
3mA
1mA
최대 전력
15W
10W
전력 변동 범위
평균출력 ±5% 이내
입력
전압
DC 24V
전압 범위
DC 23.52~24.48V(±2%)
최대 전류
2A
Power Factor
> 90%
기타
제어
정 전류, 정 전압 제어
크기(W x D x H)
241 x 340 x 88 mm

적용 분야

  • 디스플레이 공정

문의하기

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최수길 과장

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