Previous
Next

반도체 공정용

피에스텍의 반도체 공정용 정전척 전원장치는 내부 Ground를 통한 부하 방전기능으로 효과적인 Dechucking을 실현하여 공정 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 RF 필터 내장, 디지털 아크 제어 등과 같은 다양한 보호기능으로 장비와 웨이퍼를 효과적으로 보호할 뿐만 아니라 불량률을 최소화 할 수 있습니다.

특징 및 장점

  • 입증된 안정성
  • 대기업과 장기간 필드 테스트를 통해 제품 안정성 검증
  • 장비 보호 & 공간 효율 향상
  • 고주파 차단 필터인 Low Pass Filter(200kHz cut)를 내장하여 고주파로부터 장비 보호
  • 컴팩트한 사이즈를 실현하여 설치 공간 효율 향상
  • 디지털 아크 제어를 통한 웨이퍼 보호
  • 아크 발생 후 약 4us 이내에 아크를 차단
  • 전원 차단 후 재기동까지 휴지 시간 설정이 가능
  • 출력 전류가 5mA 이상일 경우 OCP 작동
  • 생산성 향상
  • 출력 상승 속도(Ramp up time) 0.1s로 공정시간 최소화
  • 부하 방전기능으로 효과적인 Dechucking 가능
  • 높은 신뢰성
  • 전압 변동 범위 출력 전압의 ±0.5%이내(3kV의 전압 변동 범위 ±15V 이내)
  • 사용성 향상
  • 전원장치에서 부하(정전척)의 정전용량을 Display하여 공정상태 확인 가능
  • 사용자 편의성을 고려해 원격 제어가 가능한 PC프로그램을 자체 개발
  • PLC 연동도 가능
  • 경제적인 가격
  • 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능

사양

항목 PSES-24300PB
출력
전압
+ 3000 ~ - 3000V
최대 전류
4mA
최대 전력
12W
전력 변동 범위
평균출력 ±5% 이내
전압 변동 범위
출력전압 ±0.5% 이내
입력
전압
DC 24V
전압 범위
DC 23.52~24.48V(±2%)
최대 전류
1.5A
Power Factor
> 90%
기타
제어
정 전류, 정 전압 제어
크기(WxDxH)
241 x 340 x 88 mm

적용 분야

  • 반도체 공정

문의하기

문의하기

최수길 과장

TEL : 031) 451-5103(214)

e-mail : sgchoi@pstek.co.kr

경기도 군포시 군포첨단산업1로, 25-25(3층)

© Copyright 2019 PSTEK Co., Ltd All rights reserved.