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특징 및 장점
- 정전력 제어 방식을 통한 균일한 품질의 제품 양산 가능
- 펄스당 MW급 고속 스위칭 기술로 정전력 제어 가능
- 램프 조사 시 펄스 폭을 변화시켜 동일한 에너지를 기재에 전달함으로써 균일한 품질의 제품 생산이 가능하여 양산 시스템에 적합
- 대면적 양산에 적합
- 램프 반사갓 설계 기술 보유, Uniformity 98% 이상
- 램프 한대 당 유효 조사 면적 업계 최대: 300~1500mm x 200mm
- 소용량 램프 Array 방식 또는 대용량 램프 중 선택 가능
- 대량생산 및 고속생산을 통한 생산성 향상
- ms 단위의 공정으로 공정 시간을 최소화하여 생산성 향상
- 롤투롤 방식의 초고속 및 대면적 소결 가능
- 유연기판에 적용 가능
- 기존 소결 공정의 열 문제를 개선한 저온 소결 방식
- 상온, 대기압 상태에서 기재에 손상 없이 소결 가능
- 단순 공정에 따른 제조 원가 절감
- 기존 반도체와 디스플레이 제조 공정에 비해 공정 축소 가능
- 설비 투자비 절감
- 간편한 PC 프로그램
- 자주 사용하는 출력 패턴 저장 기능
- 설정한 패턴에 대한 시뮬레이션 파형 Display 가능
- 다양한 보호기능
- 램프 과열 및 냉각 보호기능, OCP(Over Current Protection), OVP(Over Voltage Protection), OTP(Over Temperature Protection) 등
사양
고객 요청에 따라 사양을 변경할 수 있습니다.
| 항목 | Hi-Pulse 15000 | Hi-Pulse 30000 | Hi-Pulse 45000 | Hi-Pulse 60000 | |
|---|---|---|---|---|---|
|
피크 출력 |
출력 용량 |
2.5MW |
5MW
|
7.5MW
|
10MW
|
|
최대 전압 |
700V |
1400V
|
2100V
|
2800V
|
|
|
최대 전류 |
3600A
|
||||
|
평균 출력 |
출력 용량 |
15kW |
30kW |
45kW |
60kW |
|
주파수 |
0.1 ~ 100Hz
|
||||
|
펄스 주기 |
0.1 ~ 20ms |
||||
|
시머 전류 |
1 ~ 5A |
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|
점등 전압 |
35kV 피크 이상 |
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|
입력 |
전압 |
3-Phase, 220V / 380V / 440V ± 10%
|
|||
적용 분야
- 전자회로
- RFID Tag
- 스마트 라벨
- 반도체
- 웨이퍼 세정
- 웨이퍼 어닐링
- 실리콘 결정화
- 디스플레이
- LCD
- OLED
- 실리콘 결정화
- 태양전지
- 유기박막 태양전지
- 기타
- 조명
- 배터리
- 바이오 센서
영상
문의하기
유기현 과장
TEL : 031) 451-5103(213)
e-mail : yukihyun@pstek.net
경기도 군포시 군포첨단산업1로, 25-25(3층)