광소결 시스템(Photonic Curing System)

피에스텍 광소결 시스템은 출력 전압과 전류를 모두 제어하는 정전력 제어 방식을 사용하고 있어 램프 조사 시 항상 균일한 에너지를 기재에 전달 할 수 있기 때문에 고품질의 제품 양산에 적합합니다. 또한 램프 하우스의 유효 조사 면적이 횡방향으로 200mm까지 가능하여 적은 수의 램프로 대면적 양산 적용이 가능합니다.

특징 및 장점

펄스당 MW급 고속 스위칭 기술로 정전력 제어 가능
램프 조사 시 펄스 폭을 변화시켜 동일한 에너지를 기재에 전달함으로써 균일한 품질의 제품 생산이 가능하여 양산 시스템에 적합

램프 반사갓 설계 기술 보유, Uniformity 98% 이상
램프 한대 당 유효 조사 면적 업계 최대: 300~1500mm x 200mm
소용량 램프 Array 방식 또는 대용량 램프 중 선택 가능

ms 단위의 공정으로 공정 시간을 최소화하여 생산성 향상
롤투롤 방식의 초고속 및 대면적 소결 가능

기존 소결 공정의 열 문제를 개선한 저온 소결 방식
상온, 대기압 상태에서 기재에 손상 없이 소결 가능

기존 반도체와 디스플레이 제조 공정에 비해 공정 축소 가능
설비 투자비 절감

자주 사용하는 출력 패턴 저장 기능
설정한 패턴에 대한 시뮬레이션 파형 Display 가능

램프 과열 및 냉각 보호기능, OCP(Over Current Protection), OVP(Over Voltage Protection), OTP(Over Temperature Protection) 등

사양

고객 요청에 따라 사양을 변경할 수 있습니다.

항목		Hi-Pulse 15000	Hi-Pulse 30000	Hi-Pulse 45000	Hi-Pulse 60000
피크 출력	출력 용량	2.5MW	5MW	7.5MW	10MW
	최대 전압	700V	1400V	2100V	2800V
	최대 전류	3600A
평균 출력	출력 용량	15kW	30kW	45kW	60kW
	주파수	0.1 ~ 100Hz
	펄스 주기	0.1 ~ 20ms
	시머 전류	1 ~ 5A
	점등 전압	35kV 피크 이상
입력	전압	3-Phase, 220V / 380V / 440V ± 10%

적용 분야

RFID Tag
스마트 라벨

웨이퍼 세정
웨이퍼 어닐링
실리콘 결정화

LCD
OLED
실리콘 결정화

유기박막 태양전지

조명
배터리
바이오 센서

실적

점점 더 많은 분야에서 공정을 개선하기 위해 광소결 시스템을 활용하고 있습니다.

또한, 그 과정에서 많은 기업과 연구기관들이 검증된 품질과 합리적인 가격의 피에스텍의 광소결 시스템을 선택하고 있습니다.

가천대학교
건국대학교
성균관대학교
울산대학교
한양대학교
한국생산기술연구원

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피에스텍 광소결 시스템 PE Process

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문의 내용

유기현 과장

TEL : 031) 451-5103(213)

e-mail : yukihyun@pstek.net

경기도 군포시 군포첨단산업1로, 25-25(3층)

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