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DC 플라즈마 전원장치

피에스텍의 기본형 플라즈마 전원장치로서 최신 스위칭 소자를 적용하여 효율이 향상된 제품입니다. 특히 신속한 디지털 아크 제어를 통해 공정 안정성과 코팅 품질을 향상시킬 수 있습니다. 국내 고객사와 함께 장시간 현장 테스트를 진행하여 안정성을 검증하였고 반도체, 디스플레이, 코팅 등 다양한 산업 분야의 고객에게 공급하고 있습니다

특징 및 장점

  • 안정적인 동작
  • 장시간 현장 테스트를 통해 안정성 입증
  • 출력 부하 short 발생시 하드웨어 손상을 최소화한 시스템 구성
  • 다양한 보호기능: OCP(Over Current Protection), OVP(Over Voltage Protection), OTP(Over Temperature Protection) 등
  • 신속한 디지털 아크 제어
  • 신속한 디지털 아크 제어로 높은 코팅율을 보장하고, 얇은 층들을 균일하게 적층 가능
  • 기판 손상 감소, 공정 안정성 향상
  • 높은 효율성
  • 고속으로 스위칭이 가능한 최신 스위칭 소자 SiCFET을 적용하여 효율 향상
  • 최신 스위칭 소자 SiCFET를 적용하여 효율 향상
  • 경제적인 가격
  • 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능

사양

항목 PSPD-10080WB PSPD-10080WC PSPD-20080WB PSPD-20080WC
출력
최대 출력
10kW
20kW
최대 전압
800V
800V
최대 전류
< 25A
< 50A
효율성
> 90%
Ignition Voltage
1500V
입력
전압
3상 220V
3상 380V
3상 220V
3상 380V
주파수
47 ~ 63Hz
Power Factor
> 90%
기계요소
무게
25kg
35kg
크기(W x D x H)
480 x 760 x 132 mm
냉각 타입
Forced Air
통신
아날로그
0-5V, 0-10V
디지털
RS485, RS232C
프로토콜
Modbus, CAN, Profibus(Option), Device-Net(Option)
기타
보호
과전압, 과전류, Arc Rate, Over Temperature
기능
Arc counting, Run time counting

적용 분야

  • 반도체
  • Dry Etching(ICP,CCP)​
  • Cleaning
  • Desposition(PVD, PECVD, PEALD)
  • 디스플레이
  • Desposition(PVD, PECVD)
  • 일반 산업
  • 자동차 부품(액세서리) 하드 코팅
  • 공구류 하드 코팅
  • 기타 기계류 하드 코팅
  • 핸드폰 케이스 하드 코팅
  • 광학 필름류 코팅
  • 의료용 부품

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김현일 과장

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