Dual-DC 플라즈마 전원장치

전원장치 1대로 2 채널 출력이 가능한 DUAL-DC 플라즈마 전원장치로 채널 별로 단독 제어가 가능하여 1대로 2대의 전원장치를 구비한 효과를 얻으실 수 있는 제품입니다. 획기적으로 공간을 절약할 수 있고 투자비 또한 절감할 수 있습니다.

특징 및 장점

  • 공간 절약 및 투자비 절감
  • 채널 별 단독 제어가 가능하여 Dual-DC 1대로 DC 2대 효과를 얻을 수 있음
  • 설치 공간 절약 및 투자비 절감 가능
  • 안정적인 동작
  • 출력 부하 short 발생시 하드웨어 손상을 최소화한 시스템 구성
  • 다양한 보호기능: OCP(Over Current Protection), OVP(Over Voltage Protection), OTP(Over Temperature Protection) 등
  • 신속한 디지털 아크 제어
  • 신속한 디지털 아크 제어로 높은 코팅율을 보장하고, 얇은 층들을 균일하게 적층 가능
  • 기판 손상 감소, 공정 안정성 향상
  • 높은 효율성
  • 고속으로 스위칭이 가능한 최신 스위칭 소자 SiCFET을 적용하여 효율 향상
  • 최신 스위칭 소자 SiCFET를 적용하여 효율 향상
  • 경제적인 가격
  • 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능

사양

항목 PSPD-10080WB PSPD-10080WC
출력
최대 출력
10kW(Dual output power)
최대 전압
800V
최대 전류
< 25A
효율성
> 90%
Ignition Voltage
1500V
입력
전압
3상 220V
3상 380V
주파수
47 ~ 63Hz
Power Factor
> 90%
기계요소
무게
35kg
크기(W x D x H)
480 x 760 x 132 mm
냉각 타입
Forced Air
통신
아날로그
0-5V, 0-10V
디지털
RS485, RS232C
프로토콜
Modbus, CAN, Profibus(Option), Device-Net(Option)
기타
보호
과전압, 과전류, Arc Rate, Over Temperature
기능
Arc counting, Run time counting

적용 분야

  • 반도체
  • Dry Etching(ICP,CCP)​
  • Cleaning
  • Desposition(PVD, PECVD, PEALD)
  • 디스플레이
  • Desposition(PVD, PECVD)
  • 일반 산업
  • 자동차 부품(액세서리) 하드 코팅
  • 공구류 하드 코팅
  • 기타 기계류 하드 코팅
  • 핸드폰 케이스 하드 코팅
  • 광학 필름류 코팅
  • 의료용 부품

문의하기

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김현일 과장

TEL : 031) 451-5103(212)

e-mail : hikim@pstek.net

경기도 군포시 군포첨단산업1로, 25-25(3층)

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