특징 및 장점
Auto matching
- 높은 Matching 정밀도
- 정밀한 Matching을 위해 최적의 알고리즘 적용
- 장시간 동작 안정성
- 고신뢰성 캐패시터를 적용하여 장시간 동작 안정성 확보
- 넓은 부하 범위
- 다양한 부하 특성에 적합한 Matching solution 구성
- 플라즈마 밀도값 확인 가능
- DC bias 값 정밀 센싱 구성
RF Generator
- 장시간 동작 안정성
- 실부하 동작 안정성 테스트로 안정성 검증
- 다수의 RF를 동일한 챔버에 적용 가능
- 출력 Phase shift 기능 포함
- CEX 기능 포함
- 경제적인 가격
- 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능
사양
| 항목 | RSRF Series | ||||
|---|---|---|---|---|---|
|
출력 |
출력 범위 |
150 ~ 6000W |
|||
|
부하 임피던스 |
50Ω |
||||
|
주파수 |
13.56MHz ± 0.005% |
||||
|
입력 |
전압 |
3상 220V |
|||
|
주파수 |
50/60Hz ± 5% |
||||
|
전류 |
12.9A |
||||
|
기계요소 |
무게 |
20kg |
|||
|
크기
(W x D x H) |
241 x 603 x 155 mm |
||||
|
냉각 타입 |
Forced Air |
||||
|
통신 |
아날로그 |
0-5V, 0-10V |
|||
|
디지털 |
RS485, RS232C |
||||
|
프로토콜 |
Modbus, CAN, Profibus(Option), Device-Net(Option) |
||||
|
기타 |
보호 |
과전압, 과전류, Arc Rate, Over Temperature |
|||
|
연결 타입 |
N type female |
||||
적용 분야
- 반도체
- Dry Etching(ICP,CCP)
- Cleaning
- Desposition(PVD, PECVD, PEALD)
- 디스플레이
- Desposition(PVD, PECVD)
- 일반 산업
- 자동차 부품(액세서리) 하드 코팅
- 공구류 하드 코팅
- 기타 기계류 하드 코팅
- 핸드폰 케이스 하드 코팅
- 광학 필름류 코팅
- 의료용 부품
문의하기
김현일 과장
TEL : 031) 451-5103(212)
e-mail : hikim@pstek.net
경기도 군포시 군포첨단산업1로, 25-25(3층)