RF 플라즈마 전원장치

RF 기술은 높은 정확도와 반복 재현성이 필요한 공정에 적합한 기술입니다. 피에스텍의 RF 플라즈마 전원장치는 장시간 안정적인 동작과 높은 matching 정밀도가 보장된 제품으로 향상된 생산성과 최고 품질의 결과물을 얻으실 수 있습니다.

특징 및 장점

Auto matching

  • 높은 Matching 정밀도
  • 정밀한 Matching을 위해 최적의 알고리즘 적용
  • 장시간 동작 안정성
  • 고신뢰성 캐패시터를 적용하여 장시간 동작 안정성 확보
  • 넓은 부하 범위
  • 다양한 부하 특성에 적합한 Matching solution 구성
  • 플라즈마 밀도값 확인 가능
  • DC bias 값 정밀 센싱 구성

RF Generator

  • 장시간 동작 안정성
  • 실부하 동작 안정성 테스트로 안정성 검증
  • 다수의 RF를 동일한 챔버에 적용 가능
  • 출력 Phase shift 기능 포함
  • CEX 기능 포함
  • 경제적인 가격
  • 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능

사양

항목 RSRF Series
출력
출력 범위
150 ~ 6000W
부하 임피던스
50Ω
주파수
13.56MHz ± 0.005%
입력
전압
3상 220V
주파수
50/60Hz ± 5%
전류
12.9A
기계요소
무게
20kg
크기 (W x D x H)
241 x 603 x 155 mm
냉각 타입
Forced Air

통신

아날로그
0-5V, 0-10V
디지털
RS485, RS232C
프로토콜
Modbus, CAN, Profibus(Option), Device-Net(Option)
기타
보호
과전압, 과전류, Arc Rate, Over Temperature
연결 타입
N type female

적용 분야

  • 반도체
  • Dry Etching(ICP,CCP)​
  • Cleaning
  • Desposition(PVD, PECVD, PEALD)
  • 디스플레이
  • Desposition(PVD, PECVD)
  • 일반 산업
  • 자동차 부품(액세서리) 하드 코팅
  • 공구류 하드 코팅
  • 기타 기계류 하드 코팅
  • 핸드폰 케이스 하드 코팅
  • 광학 필름류 코팅
  • 의료용 부품

문의하기

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김현일 과장

TEL : 031) 451-5103(212)

e-mail : hikim@pstek.net

경기도 군포시 군포첨단산업1로, 25-25(3층)

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